设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学, 机械工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 023-89137939

电子邮箱: lcf@cast.gov.cn

通讯地址: 重庆市渝北区杨柳路2号

邮政编码: 401123

联系人: 周天勇

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: UDP850

所属科研设施:

主要功能: 该设备用于 1.各种硬质刀具的表面物理气相沉积，能够通过更换靶材和气体改变涂层成分； 2.各种汽车零部件的表面处理；例如：汽车活塞环DLC涂层； 3.精密模具，精密刀具的表面处理，提高其寿命和加工质量

主要技术指标: 1. windows操作系统下全自动镀膜控制程序全方位精准控制薄膜生长过程； 2.全设备采用最优秀的高精度控制元器件，气体流量控制系统采用（美国MKS原装，0.1SCCM）；OEMTM反应气体控制器级压电阀能够精准把控薄膜内部的成份梯度； 3.该磁控溅射设备采用美国原装AE电源6KW Advanced Energy PNCL 靶电源（精度±0.01A）；10KW Advanced Energy PNCL 偏压电源（精度±1V）； 4.真空系统采用机械泵（BOC Edwrds原装泵） ；罗茨泵（BOC Edwrds原装泵）；扩散泵（BOC Edwrds原装泵）极限真空度达到 3.4×10－4Pa； 5.腔体可利用体积Φ700×1000mm； 6.低温沉积，工作温度控制在诱发基体组织发生变化的温度内(200-500度）；

安放地址: 杨柳2号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无