设备分类编码: 010199

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

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电子邮箱: shw0205@163.com

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联系人: 沈薇

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>其他

规格型号: AURIGA

所属科研设施:

主要功能: 通过高分辨率双束系统完成对于微纳米样品的纳米加工和纳米器件构筑，包括定点纳米切割，纳米刻蚀，纳米级别沉积，透射样品制备以及纳米级别的高分辨率成像等。同时配合INCA X-Max 50能谱仪，可对选定的点、多边形或复杂形状区域的材料进行元素种类与含量的分析，可对特定元素进行鉴别并判断其分布。

主要技术指标: 1.电子束分辨率15kV下优于1nm，离子束分辨率30kV下优于2.5nm； 2.离子束束流强度变化范围：1pA~50nA； 3.5支GIS气体注入系统，包括Pt, C, SiO2, H2O, Xe2F 4.加工深宽比优于5:1，最小沉积线宽优于30nm，最小加工线宽优于15nm； 5.分析元素范围：Be4‐Pu94，稳定性：1,000cps—100,000cps 谱峰漂移<1eV，分辨率变化<1eV

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

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