设备分类编码: 010103

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [机械工程, 航空、航天科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-88460353-8051

电子邮箱: zbma@nwpu.edu.cn

通讯地址: 西安市碑林区友谊西路127号

邮政编码: 710072

联系人: 马志波

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>电子探针

规格型号: RF-1/4200-SCS-F

所属科研设施:

主要功能: 用于中试封装之前的芯片的性能测试。其包括IV测试仪与探针台两部分，IV测试仪主要用于提供电压和电流激励信号给器件，并测试反馈回来的信号以确定器件的性能，探针台则为器件和IV测试仪之间提供物理信号的接驳。

主要技术指标: 载物台：6英吋（150mm）、低噪声、不锈钢表面、三轴同轴电缆联接；X、Y最大移动距离6 x 6英吋，灵敏度：每度40微米；测试漏电电流最低可以达到10-12A；被测器件是以载物台被抽真空的方式固定在上面。 针座为磁性方式固定，专门配置给6英吋（150mm）载物台，适用于线宽为1微米或以上、每吋 100线以内的被测器件。在针座上调整针杆X、Y、Z轴三个方向的最大距离为6.4毫米，灵敏度为：每度0.7微米。 针杆专门为常温载物台设计，并配备有三轴同轴电缆的信号传输线，适用于测试漏电电流的范围是：10-6 到10-12 安培。 镍（针臂）和钨（针尖）材料制造的探针，适用于测试1微米线宽或以上的器件，针长为：35.5毫米，针尖半径为：0. 35微米。 最大电流：100mA/1A，SMU的数量2至8个。

安放地址: 友谊西路127号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 共享

参考收费标准: 无