设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 化学工程, 环境科学技术及资源科学技术]

仪器设备来源: 购置

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联系人: 王闻琦

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: *SU-1510

所属科研设施:

主要功能: 扫描电子显微镜是利用电子和物质的相互作用，获取被测样品的形貌、组成、晶体结构等各种物理、化学性质的信息，已被广泛应用于包括纳米材料、薄膜材料、高分子材料、半导体、陶瓷等各种材料的表面显微形貌分析，是材料结构分析及各种物理机械性能测试表征必不可少的工具。电制冷X射线能谱仪是利用X射线的能量进行测量来确定物质化学成分。电制冷X射线能谱仪配合扫描电子显微镜使用可进行结构表征，还可应用于材料微区成分元素种类与含量分析。

主要技术指标: 分辨率：SE探头：3.0nm；BSE探头：4.0nm； 加速电压：0.5～30 kV连续可调； 放大倍数：5～300000倍； 真空系统：高真空：不低于0.1mPa； 低真空：10Pa～270Pa； 真空泵系统：涡轮分子泵和机械泵各1台； 电子光学系统：电子枪：具有4级自动偏压功能； 灯丝：预对中钨丝灯； 物镜光阑：4孔可动式物镜光阑； 电气图像移动：±50um（WD＝15mm） 样品室和样品台：样品台尺寸：装载直径≥150mm样品； 样品台：5轴样品台； 行程：X=80mm；Y=40mm；Z=45mm；R=360°；T=-20～+90°； 探测器及成像系统：二次电子探测器：二次电子像； 成像模式：同时得到二次电子像，背散射电子像，两者混合像； 系统保护：断电、失真空和停水保护。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: