设备分类编码: 100399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学, 冶金工程技术, M00, P00]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0731-88876204

电子邮箱: huang_zhifeng@126.com

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 黄志锋

仪器所属类别: 核仪器>>离子束分析仪器>>其他

规格型号: 691型

所属科研设施:

主要功能: 透射电镜的制样

主要技术指标: 离子枪束能量：1.5KV-6KV；束直径：350μm FWHM at 5kev；离子束电流密度：10Ma；减薄速度：硅，每小时40μm，5kv；样品旋转：无极可变，每分钟1-6转；离子束调制：单一或双面横截面减薄；真空度：5E-6Torr基本压强，工作时间8E-5Torrbase；凹坑仪定位精度：小于10nm；减薄厚度控制：1μm。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: