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电子束曝光系统  (收藏)

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设备分类编码: 049900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 022-60214202

电子邮箱: jgz@tjut.edu.cn

通讯地址: 天津市西青区宾水西道391号

邮政编码: 300384

联系人: 姚超

仪器所属类别: 电子测量仪器>>其他>>其他

规格型号: Raith-e-LINE plus

所属科研设施:

主要功能:

主要技术指标:

安放地址: 宾水西道391号

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: 1500元/机时



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