设备分类编码: 020199

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 022-60214202

电子邮箱: jgz@tjut.edu.cn

通讯地址: 天津市西青区宾水西道391号

邮政编码: 300384

联系人: 姚超

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>力学性能测试仪器>>其他

规格型号: ICP-98C

所属科研设施:

主要功能: 无

主要技术指标: 无

安放地址: 宾水西道391号

服务内容: 用Cl基气体，可刻蚀Al、GaAs、GaN等多种金属和化合物半导体薄膜材料； 用F基气体刻蚀Si、Poly-Si、SiN、SiO2、W、WSi、Mo、MoSi、Ta、TaSi、石英等； 高速率，高加工精度、损伤小的薄膜刻蚀

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 400元/时