设备分类编码: 120302
仪器设备分类: 专用
主要学科领域: [工程与技术科学基础学科]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 022-27404775
电子邮箱: wangchao81@tju.edu.cn
通讯地址: 天津大学
邮政编码: 300072
联系人: 张浩
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备
规格型号: VEECD RF350
所属科研设施:
主要功能: 电压208V 电流200A PH3 CYC50/60
主要技术指标: 电压208V 电流200A PH3 CYC50/60
安放地址: 天津大学
服务内容: 样品测试
服务的典型成果: 无
对外开放共享规定: 周一至周五9:00-17:00
参考收费标准: 6000