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离子刻蚀镀膜仪  (收藏)

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设备分类编码: 011299

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-88493450-8001

电子邮箱: chzw@nwpu.edu.cn

通讯地址: 西安市友谊西路127号

邮政编码: 710072

联系人: 陈忠伟

仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他

规格型号: Gatan 682

所属科研设施:

主要功能: 对试样进行离子刻蚀,以便进行EBSD分析以及扫描电镜和光学金相分析;对非导电试样进行离子镀膜,在场发射扫描电镜的高倍率下不显示膜材料的形貌,以便对试样进行高分辨观察。

主要技术指标: 刻蚀试样直径:10mm,刻蚀速度:10?m/hr(Si)、3?m/hr(W);镀膜试样直径:10mm,镀膜速度:1.5?/sec(Cr)、0.5 ?/sec(C),靶材:C、Cr、Pt、Au/Pd

安放地址: 西工大诚字楼

服务内容: 用于扫描电镜、透射电镜等电子显微镜的精密刻蚀镀膜系统,具有样品刻蚀和离子溅射镀膜功能的仪器

服务的典型成果: 每年支撑超过50篇论文发表

对外开放共享规定: 按学校有关规定执行

参考收费标准: 800元/样



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