设备分类编码: 120303
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [物理学, 材料科学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 022-27400892
电子邮箱: xiaolonghu@tju.edu.cn
通讯地址: 天津大学
邮政编码: 300072
联系人: 胡小龙
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备
规格型号: JGP-560
所属科研设施:
主要功能: 溅射镀膜
主要技术指标: 真空度,压强小于 1E-8 Torr,4个靶
安放地址: 天津大学
服务内容: 样品测试
服务的典型成果: 无
对外开放共享规定: 每月半天
参考收费标准: 按样收费