设备分类编码: 040102

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 化学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0551-65595193

电子邮箱: duhf@hmfl.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 杜海峰

仪器所属类别: 电子测量仪器>>通用电子测量仪器>>信号发生器

规格型号: AHCC11A1043

所属科研设施:

主要功能: 使扫描电镜、聚焦离子束具备电子束光刻直写功能

主要技术指标: 空间分辨率10nm

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: