设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 化学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-87236692

电子邮箱: kjc@ceprei.com

通讯地址: 广州市天河区东莞庄路110号

邮政编码: 510610

联系人: 邝贤军

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: ES371

所属科研设施:

主要功能: 用于刻蚀多层布线的集成电路，特别适用于亚微米线路和边沿陡直图形的腐蚀。能满足InP、GaAs、GaN等三五族材料、SiO2、SiNx以及各种金属的腐蚀需要，具有较低的制样风险

主要技术指标: 反应离子腐蚀机的全部硬件和工艺均由计算机控制，工作效率高，操作简便。RIE工艺真空腔，带有单个观察窗以及160mm直径抽气管路，保证反应的副产物可以及时排出。反应室真空压力自动控制系统，保证工艺过程压力的稳定。真空泵可以快速达到工艺试验所需的真空环境。存储了97种刻蚀配方，包括压力的控制、气体流量、腐蚀时间、射频功率输出及温度。温度控制系统能保证稳定的腐蚀。

安放地址: 301楼

服务内容: 按客户要求

服务的典型成果: 检测报告

对外开放共享规定: 仪器设备服务评价考核办法

参考收费标准: 按服务内容报价