设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-39943836

电子邮箱: stsjiang@mail.sysu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 江灏

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: Cello Seker-60

所属科研设施:

主要功能: 用于镀制半导体光电子器件中由多层氧化物薄膜和高反射率金属薄膜所构成的反射膜或金属电极。

主要技术指标: （1）加热温度最高320度；（2）抽气速率：30分钟小于8E-6Torr/极限真空小于3E-6Torr；（3）膜厚均匀性：≦5%(WTW/RTR)

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: