设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学, Z00]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-39943195

电子邮箱: 2274041067@qq.com

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 刘扬

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: ABM/6/350/NUV/DCCD/M 光强均匀性≤±5%

所属科研设施:

主要功能: 光刻

主要技术指标: 光强均匀性（150mm圆片）≤±1.7％（405nm） ≤±1.2％（365nm）；对准精度0.281μm，曝光分辨率0.505μm（真空接触）

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: