设备分类编码: 120204

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, Z00]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-84113901

电子邮箱: wchengx@mail.sysu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 王成新

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>化工、制药工艺实验设备>>化学反应工艺实验设备

规格型号: MPECVD-R2.0

所属科研设施:

主要功能: 最大沉底加热温度900℃负偏压电源电压1000V电流1000mA

主要技术指标: 功率发生器2kW，2.45GHz；质量流量计10,30,50sccm；系统真空度优于1.0×10-6Torr；保压12小时后真空度优于1.0×10-1Pa

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: