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设备分类编码: 990000
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [材料科学, 机械工程, 教育学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0571-87081221
电子邮箱: 641717780@qq.com
通讯地址: 宁波工程学院材化学院
邮政编码: 315211
联系人: 徐雪波
仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他
规格型号: 磁靶/真空系统/冷却系统
所属科研设施:
主要功能: 可以在刀具、模具、各种机械零件和塑料零件表面镀覆TiN、CrN、TiAlN、CrAlTiN超硬镀层，以及DLC金刚石和GiC类石墨高硬度自润滑镀层。并可以镀制Ti/Cr/Ag/Au等金属薄膜。镀层厚度3-6μm，硬度20-40GPa，自润滑薄膜摩擦系数小于0.2
主要技术指标: 真空腔直径650mm，高度650mm。四个溅射靶。
安放地址: 宁波工程学院
服务内容: 可在材料表面镀各类金属或化合物。靶材绑定。
服务的典型成果: 已用于陶瓷类薄膜，导电薄膜等
对外开放共享规定: 在本校教师未使用的情况下对外开放
参考收费标准: 靶材自备，按开炉次数计，3000元/炉。靶材绑定1000/片
