设备分类编码: 120302
仪器设备分类: 专用
主要学科领域: [物理学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 020-39943836
电子邮箱: stsjiang@mail.sysu.edu.cn
通讯地址:
邮政编码:
联系人: 江灏
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备
规格型号: 科毅 AG350-6N-D-SS-V
所属科研设施:
主要功能: 半导体光电子、电子器件的光刻工艺
主要技术指标: 扁平式大行程对位平台,A:扁平镂空平台初级对位的精度到达 0.5um;B:压电平台精密对位的精度到达 0.5um。采用自动平衡系统, Mask与Wafer自动找平
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: