设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-39943407

电子邮箱: zhhao26@mail.sysu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 张浩

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: ICP-5000

所属科研设施:

主要功能: 表面清洗、工艺加工等

主要技术指标: 4英寸内刻蚀不均匀性小于3.5%（3-sigma标准）。使用CHF3刻蚀Pyrex 7740玻璃时，刻蚀速率不低于100nm/min。对AZP光胶（120摄氏度hard bake）选择比大于5：1

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: