设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 电子与通信技术, 计算机科学技术]

仪器设备来源: 研制

联系电话: 028-85100317

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 刘强

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: 160mmX160mm

所属科研设施:

主要功能: 用于大面积图形曝光

主要技术指标: 有效照明面积：160nm x 160nm, 照明不均匀性：≤4.5%， 分辨力：<1.0mm

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: