设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-39943415

电子邮箱: minjix3@mail.sysu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 闵继雄

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: ABM/6/350/NUV/DCCD/M 6”范围内光强均一性：±1.2%

所属科研设施:

主要功能: 使用汞灯作为光源可以在微纳米尺度对感光物质进行图形设计，仪器具有的对准系统可以对图形进行二次对板，同时仪器还可以实现纳米压印的功能。

主要技术指标: 光强均匀性：4”区域内？<±2%；接触式曝光分辨率不小于0.8um；厚胶光刻，最大厚度100um；正面对准精度不小于±0.5um

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: