设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-39943836

电子邮箱: stsjiang@mail.sysu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 江灏

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: Cello Ohmiker-50D

所属科研设施:

主要功能: 用于半导体光电子器件研究中透明导电薄膜的制备，TFT电子器件制备。

主要技术指标: 需要配置光学监控系统；抽气速率：20分钟小于3E-6Torr；极限真空小于2E-7Torr；膜厚均匀性：≦5%(WTW/RTR)；穿透率大于90%，电阻<12ohms/cm2

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: