设备分类编码: 120304

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [信息科学与系统科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-61086112

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 刘宁炀

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电子产品通用工艺实验设备

规格型号: PEVA-600E

所属科研设施:

主要功能: 蒸镀金属材料

主要技术指标: 蒸镀Ti、Al、Ni、Au等金属，一次最多67片2英寸样品。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: