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金属化学气相淀积系统,  (收藏)

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设备分类编码: 120204

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学, 能源科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-85210349

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 李述体

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>化工、制药工艺实验设备>>化学反应工艺实验设备

规格型号: 3X2“ Flip Top CCs

所属科研设施:

主要功能: 可进行GaN基半导体材料外延生长,一次可生长3片2英寸大小外延片,可进行GaN基发光二极管,紫外探测器,蓝紫光激光器等结构生长。

主要技术指标: 可进行GaN基半导体材料外延生长,一次可生长3片2英寸大小外延片,未掺杂GaN本底载流子浓度低于1x1017/cm3,生长的蓝光LED外延片制作的芯片正向电压小于3.5伏,反向漏电流小于1毫安,光功率大于3mW。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准:



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