设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-85217070

电子邮箱: zycq@scnu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 章勇

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: KVE(ITO)-C400120

所属科研设施:

主要功能: 制备氧化铟锡薄膜

主要技术指标: 电阻规:10-3Torr~990Torr, 离子规:2×10-10Torr~10-2Torr.腔体，泄露速率：<0.1Torr(12小时内)，衬底最大加热温度：300℃

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: