设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学, 化学工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-85217070

电子邮箱: lishuti@scnu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 李述体

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: SiH4半自动气瓶柜

所属科研设施:

主要功能: SiH4压力200大气压，出口压力30-60个PSi，有气动阀控制系统。SIH4探测系统。可用于半导体制造领域。

主要技术指标: 用于高纯SiH4气体的输送与控制，应用于半导体制造领域。SiH4压力200大气压，出口压力30-60个PSi，有气动阀控制系统。SIH4探测系统。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: