设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

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联系人: 金永中

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: QX-650

所属科研设施:

主要功能: （1）硬质合金刀具的硬质涂层制备；（2）电子材料耐蚀涂层的涂覆；（3）新型复合防腐硬质涂层材料开发和研究；（4）纳米梯度涂层材料的研究；（6）非金属制品的仿金涂层制备。

主要技术指标: 1．大平面多弧离子镀膜机核心技术矩形平面多弧靶，专利号为03249251.0； 2. 为实现Φ600×800mm工作区间的均匀施镀，该设备进行了独特的六靶结构设计，靶口位置在室体周向，分子泵口在真空室体周向，分子泵横装。 3. 设备配装了强大的冷却系统，采用了真空室双层水冷，真空室门双层冷却水管；真空室顶、底板有水冷功能；靶接口法兰具有水冷功能； 4. 采用了三层不锈钢防污板结构设计，防污能力强，便于拆卸安装； 5、采用偏压电源：脉冲偏压电源，30KVA，电压，占空比，频率可调 6、控制系统： （1）系统自动监控和保护功能强，包括缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。 （2）PLC 智能控制系统一套，包括：可编程控制器（PLC），软件。可实现镀膜过程计算机化。 （3）数字式智能流量控制仪控制、真空度数值通讯控制与显示、镀膜电源数值显示与智能控制、镀膜控制流程数值化。 （4）系统配有水路及水流报警系统，用来对分子泵、磁控靶、真空室进行冷却，在水路上安装有水流继电器，一旦缺水或水流不足，将进行报警并切断相应电源，以防止损坏设备。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

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