设备分类编码: 120302

仪器设备分类:

主要学科领域: [工程与技术科学基础学科]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 无

电子邮箱: 无

通讯地址: 四川省成都市一环路南一段24号

邮政编码: 610000

联系人: 李卫

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: 外延室尺寸600*450mm筒形结构预处理室尺寸300*900，极限真空8*10-9次方Pa,系统漏率小于10-8次方Pa.L/s-SFD060CB01

所属科研设施:

主要功能: 无

主要技术指标: 外延室尺寸600*450mm筒形结构预处理室尺寸300*900，极限真空8*10-9次方Pa,系统漏率小于10-8次方Pa.L/s-SFD060CB01

安放地址: 四川省成都市武侯区一环路南一段24号

服务内容: 暂无

服务的典型成果: 暂无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 默认测试项目---校外:200元/小时校内:100元/小时院内:50元/小时