设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-82668817

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联系人: 云峰

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: IX-660 *

所属科研设施:

主要功能: 用于氮化镓氧化铝基半导体材料微细加工领域，如激光剥离、打孔、切割等工艺。

主要技术指标: 波长248nm kr准分子激光/4.5KJ/mm2/脉冲频率1-50hz/脉冲宽度25ns/最大光斑面积5*5平方毫米/光功率均匀性±5%/机械平台控制精度良好:步进精度优于0.1微米，150mm行程内精确度优于±3mm/双向可重复性优于1mm/旋转角度±175度精度优于0.02度

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: