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原子层沉积系统  (收藏)

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设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-87110449

电子邮箱: liaorong@scut.edu.cn

通讯地址: 广东省广州市天河区华南理工大学电信学院

邮政编码: 510640

联系人: 廖荣

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: R-75型,*

所属科研设施:

主要功能: 制备纳米级电子材料薄膜

主要技术指标: 镀膜厚度:纳米级

安放地址: 五山校区4号楼203房

服务内容: 制备纳米级氧化锌薄膜材料

服务的典型成果:

对外开放共享规定: 实验机时的预约仅接受“网上预约”,请在每周的预约截止时间前提前预约下一周的机时

参考收费标准: 400元/样



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