设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-61086420

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 刘晓燕

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: PlasmaProSystem133ICP380

所属科研设施:

主要功能: 用于LED芯片的n区刻蚀，pps衬底制备、LED出光面粗化

主要技术指标: GaN：刻蚀速率.600埃/分钟

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: