设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [机械工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-82668817

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通讯地址:

邮政编码:

联系人: 李涤尘

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: ICP180 ICP180

所属科研设施:

主要功能: MEMS半导体测试

主要技术指标: 二氧化硅氧地1：80/刻蚀数内大于1微米/分；深度比1：30

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: