设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-82668817

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 云峰

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: Tbon-100 *

所属科研设施:

主要功能: 不同衬底材料间的键合研究，如共晶键合，热压键合工艺，是研究微电子和光电子新型器件工艺的重要设备

主要技术指标: 真空度从大气环境闭合腔室后，抽气三分钟可达1E-3mbr，温度非均匀性小于正负3%，最大工作压力20KN，控制精度正负2%，压力均匀性小于等于5%，400℃降至100℃时间在30分钟内

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: