设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0571-88208991

电子邮箱: eqzhou@zju.edu.cn

通讯地址: 浙江省杭州市西湖区浙江大学

邮政编码: 310000

联系人: 周强

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: ALD150LX

所属科研设施:

主要功能: 按单原子层进行超薄膜的气相沉积

主要技术指标: 热和等离子两种生长方式；6"基片；均匀度<±2%；基片加热温度最高300℃；两个不带加热功能的生长源，两个带加热功能的生长源；可自动进样。

安放地址: 余杭塘路388号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无