设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 机械工程, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0571-88208991

电子邮箱: eqzhou@zju.edu.cn

通讯地址: 浙江省杭州市西湖区浙江大学

邮政编码: 310000

联系人: 周强

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: System 02155

所属科研设施:

主要功能: 沉积金属和非金属薄膜，特别是高熔点材料薄膜；可以一次完成多层膜系的沉积。

主要技术指标: 一个具有6个坩埚的电子束蒸发源，一个电阻式蒸发源，能在一个工艺流程沉积7种材料；电子枪最大加速电压10kV，最大束流1A；薄膜厚度最小1纳米，均匀度<±5%；衬底最大直径6"；可以手动或自动控制生长速率；极限真空<5×10E-6乇。

安放地址: 余杭塘路388号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无