设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 机械工程, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0571-88208991

电子邮箱: eqzhou@zju.edu.cn

通讯地址: 浙江省杭州市西湖区浙江大学

邮政编码: 310000

联系人: 周强

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: Plasmalab System100 ICP180

所属科研设施:

主要功能: Si的干法深刻蚀；Poly-Si,SiNx,SiO2,W,WSi,Ge，有机物的干法刻蚀；材料表面氟化。

主要技术指标: ICP 源：3000W 13.56MHz，RF 源：300W 13.56MHz，4"、6"基片，4路工艺气体（可扩展至8路），自动进样室，工艺室极限真空<10E-7乇，Bosch 刻硅工艺：均匀度<±5%；速率>3um/分，深宽比〉30:1

安放地址: 余杭塘路388号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无