设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88392412

电子邮箱: mgh@sdu.edu.cn

通讯地址: 山东大学

邮政编码: 250100

联系人: 闵光辉

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: FJL520

所属科研设施:

主要功能: 主要应用于磁控溅射室及离子束溅射室的方法制备薄膜。 适用范围：靶材可以用金属或陶瓷材料，几篇可用玻璃灯无机材料。实现基片上的镀膜。

主要技术指标: 系统极限真空： 磁控溅射室：达6.6*10＾-5Pa 离子束溅射室：达6.6*10＾-5Pa 系统抽速： 磁控溅射室：达6.6*10＾-4Pa 离子束溅射室：达6.6*10＾-4Pa 系统漏率： 磁控溅射室：≤1Pa 离子束溅射室：≤1Pa 样品加热温度：室温～500℃

安放地址: 山东大学

服务内容: 材料

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五, 上午:8：00—12:00,下午:2:00—5:00

参考收费标准: 根据国家有关规定收费。