设备分类编码: 010199

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 022-27400892

电子邮箱: xiaolonghu@tju.edu.cn

通讯地址: 天津大学

邮政编码: 300072

联系人: 胡小龙

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>其他

规格型号: 2014OSTC-DXC086

所属科研设施:

主要功能: 定点切割，选择性的材料蒸镀，强化性蚀刻或选择性蚀刻

主要技术指标: 电子束能量约1千电子伏(1 keV)到30千电子伏(30 keV)，电子束束电流：约10皮安(10 pA)到20纳安(20 nA)

安放地址: 天津大学

服务内容: 样品测试

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 每月半天

参考收费标准: 按样收费