设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88392989

电子邮箱: jinqing@sdu.edu.cn

通讯地址: 山东大学

邮政编码: 250100

联系人: 邓建新

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: AS-585 AS-585

所属科研设施:

主要功能: 磁控溅射、离子束辅助沉积；多种溅射靶，可以制备复合膜

主要技术指标: 检波范围：200－900 nm

安放地址: 山东大学

服务内容: 磁控溅射、离子束辅助沉积；多种溅射靶，可以制备复合膜

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五, 上午:8：00—12:00,下午:2:00—5:00

参考收费标准: 根据国家有关规定收费。