设备分类编码: 011299

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-84113015

电子邮箱: kuangdb@mail.sysu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 陈洪燕

仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他

规格型号: 定制进样室/PVD沉积室/多源有机蒸发

所属科研设施:

主要功能: 主要用来可控生长有机分子、金属、金属氧化物薄膜

主要技术指标: 金属材料生长室极限真空≤6.6×10-5 Pa 进样/磁控生长室极限真空度≤6.6×10-5 Pa进样/磁控生长室抽速 40分钟6.6×10-4 Pa 进样/磁控生长室高压离子轰击装置 电压 3000 V 电流160 mA 金属材料生长室抽速40分钟6.6×10-4 Pa 手套箱水氧含量小于1 ppm

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: