设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0579-82297911

电子邮箱: mayun@zjnu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 马云

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: Ctrie-200L

所属科研设施:

主要功能: 适用于氮化镓的干法蚀刻

主要技术指标: 分辨率100nm，深宽比15:13，基片尺寸2寸，均匀性±5%

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: