设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0579-82297911

电子邮箱: lwz@zjnu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 李文忠

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: NBAM-2AL:NanoSurface-GH250PC/BDM;NanoSurface-SL510T/fclo

所属科研设施:

主要功能: 对外延片进行减薄和抛光

主要技术指标: 片内公差达到4微米，粗糙度达到0.05微米

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: