设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88375097

电子邮箱: skang@sdu.edu.cn

通讯地址: 山东大学

邮政编码: 250100

联系人: 康仕寿

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: BMS660B规格380V-50HZ

所属科研设施:

主要功能: 正常溅射制备各种金属、非金属、磁性薄膜。

主要技术指标: 极限真空：5*10-6Pa，系统漏率：1*10-6Pa.L/s;衬底温控：室温-600℃；气流控制：水冷、加热各一个；步进电机：2万步/周；薄膜均匀性：直径50范围内±5%

安放地址: 山东大学

服务内容: 正常溅射制备各种金属、非金属、磁性薄膜。

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五, 上午:8：00—12:00,下午:2:00—5:00

参考收费标准: 根据国家有关规定收费。