设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88363606

电子邮箱: jiangran@sdu.edu.cn

通讯地址: 山东大学

邮政编码: 250100

联系人: 宋爱民

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: 双靶EXPLORER14双靶

所属科研设施:

主要功能: 高质量薄膜的建设，电极材料薄膜的镀膜

主要技术指标: 均匀性优于15%，中央位置优于3%

安放地址: 山东大学

服务内容: 高质量薄膜的建设，电极材料薄膜的镀膜

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五, 上午:8：00—12:00,下午:2:00—5:00根据国家有关规定收费。

参考收费标准: 每一样品需要金额: 200 每次使用的开机费用: 150