设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [工程与技术科学基础学科]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88363606

电子邮箱: songam@sdu.edu.cn

通讯地址: 山东大学

邮政编码: 250100

联系人: 宋爱民

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: 4 inch holdere_Line plus4 inch holder

所属科研设施:

主要功能: 用于光电材料科学

主要技术指标: 电子枪：肖特基热场发射电子束源；加速电压从100V到30KV；样品尺寸最大4inch;最小加工线宽10nm；最小电子书直径2nm;图形发生器速度20MHz，放大倍数20X-1000000X；套刻精度在100微米内小雨40 nm

安放地址: 山东大学

服务内容: 用于光电材料科学

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五, 上午:8：00—12:00,下午:2:00—5:00

参考收费标准: 根据国家有关规定收费。