设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [地球科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88363058

电子邮箱: huxiaobo@sdu.edu.cn

通讯地址: 山东大学

邮政编码: 250100

联系人: 胡小波

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: PM5 1PM51

所属科研设施:

主要功能: 磨平大直径SiC单晶片

主要技术指标: 平整度小于5um，晶片TTV<10um

安放地址: 山东大学

服务内容: 磨平大直径SiC单晶片

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五, 上午:8：00—12:00,下午:2:00—5:00

参考收费标准: 根据国家有关规定收费。