设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88363606

电子邮箱: jiangran@sdu.edu.cn

通讯地址: 山东大学

邮政编码: 250100

联系人: 宋爱民

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: Auto 500HHV autoAuto 500

所属科研设施:

主要功能: 电子书蒸发系统，以金属电极蒸镀为主要应用。使用较高功率电子枪对难熔金属进行蒸发，在较大腔体内实现LIFTOFF等半导体操作

主要技术指标: 真空优于5*10-7Torr；电子枪率不低于6KW，支持多层膜连续沉积工艺

安放地址: 山东大学

服务内容: 电子书蒸发系统，以金属电极蒸镀为主要应用。使用较高功率电子枪对难熔金属进行蒸发，在较大腔体内实现LIFTOFF等半导体操作

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五, 上午:8：00—12:00,下午:2:00—5:00

参考收费标准: 根据国家有关规定收费。