设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-86168252

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通讯地址:

邮政编码:

联系人: 卢静

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: BMS500B

所属科研设施:

主要功能: 超高真空、常温/高温镀膜、直流溅射、射频溅射、单靶材/多靶材镀膜、直接溅射/反应溅射等

主要技术指标: 真空度：10-5Pa，溅射温度：室温-500℃，溅射功率：500W

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: