设备分类编码: 011299

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [数学, 力学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 028-85100646

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 高平

仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他

规格型号: SI ALD

所属科研设施:

主要功能: 光学、光电子、微电子原位监测功能

主要技术指标: 光斑尺度：1mm 最快测量速度：99ms 膜厚测量精度：0.049nm

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: