设备分类编码: 010409
仪器设备分类: 专用
主要学科领域: [信息科学与系统科学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 028-85100646
电子邮箱:
通讯地址:
邮政编码:
联系人: 刘凯鹏
仪器所属类别: 分析仪器>>光谱仪器>>红外光谱仪
规格型号: 2035
所属科研设施:
主要功能: 用于激光干涉光刻系统,可制备周期140nm~1000nm一维光栅
主要技术指标: 工作波长363.8nm;激光功率0~100mw;光斑直径1.7mm
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: