设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0531-88366218

电子邮箱: xphao@sdu.edu.cn

通讯地址: 山东大学

邮政编码: 250100

联系人: 郝霄鹏

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: HVPE-V100P规格2（英寸）

所属科研设施:

主要功能: 立式HVPE单晶生长系统，主要应用于GaN单晶材料的生长。GaN是制备大功率半导体器件的重要的衬底材料，也是国家“白光工程”急需材料，我们在功能材料平台成功完成SiC材料生长的基础上，积极开展GaN半导体材料的研究，可以极大地巩固平台在半导体材料方面研究的优势，并开拓新的研究领域。

主要技术指标: 1.具有两个工作温区，第一温区850℃，温区长度约为70mm左右，第二温区1050℃，温度控制精度±1℃。加热体的最高工作温度需达到1100℃；2.采用氦质谱检漏仪，气路系统的检测漏气率小于2×10-8atmscc/s；3.各个工艺过程精确控制，稳定可靠。

安放地址: 山东大学

服务内容: 立式HVPE单晶生长系统，主要应用于GaN单晶材料的生长。GaN是制备大功率半导体器件的重要的衬底材料，也是国家“白光工程”急需材料，我们在功能材料平台成功完成SiC材料生长的基础上，积极开展GaN半导体材料的研究，可以极大地巩固平台在半导体材料方面研究的优势，并开拓新的研究领域。

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 周一至周五, 上午:8：00—12:00,下午:2:00—5:00

参考收费标准: 根据国家有关规定收费。